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安捷倫真空:磁場(chǎng)環(huán)境對分子泵運行的影響

許多設備在工作時(shí)都會(huì )產(chǎn)生磁場(chǎng),比如,家用電冰箱的磁場(chǎng)強度約有10高斯(1mT),MRI (核磁共振)的磁場(chǎng)強度甚至會(huì )高達 3T;盡管可以采取屏蔽等措施,仍然可能會(huì )有外漏的雜散磁場(chǎng),對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。

磁場(chǎng)對渦輪分子泵的可能影響

當渦輪分子泵的轉子在磁場(chǎng)中旋轉時(shí),會(huì )產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉子的旋轉,并導致電機的功率增大。由于泵轉子不與定子接觸,渦流產(chǎn)生的熱量和額外的功率主要通過(guò)輻射消散。因此,轉子可能會(huì )過(guò)熱,即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認磁場(chǎng)對分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)設計并執行了下面的測試:

測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6,使用一對亥姆霍茲線(xiàn)圈(直徑 120 厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級,分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下(該壓力以下,熱對流幾乎為零,分子泵轉子的熱量?jì)H可以通過(guò)輻射傳遞出去很小的一部分)。

使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續進(jìn)行冷卻;分子泵的控制器會(huì )自動(dòng)調整電機電流,保持轉子以恒定轉速運行。

使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。

測試過(guò)程

試驗期間,渦輪泵以滿(mǎn)轉速持續運行。初始的磁場(chǎng)設置為 1mT ,泵在該磁場(chǎng)下運行 12 個(gè)小時(shí)以穩定轉子溫度;然后關(guān)閉磁場(chǎng),再運行 12 個(gè)小時(shí)以使轉子降溫;然后再分別把磁場(chǎng)設置為 2mT,按照前面的步驟繼續進(jìn)行測試,直至磁場(chǎng)增加到 7mT 。

測試結果

如上圖所示,當磁場(chǎng)逐步增加后,被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升,當磁場(chǎng)強度為 7mT 時(shí),平衡溫度上升到 100 攝氏度左右(安捷倫分子泵的最大允許溫度為 120 度)。

另外,KIT 使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵,一系列的對比測試表明,安捷倫分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉子的平衡溫度明顯較低( 5mT 時(shí),低大約40度)。

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